Luận án Nghiên cứu đo lường biên dạng chi tiết tròn xoay bằng phương pháp quét laser

Nội dung text: Luận án Nghiên cứu đo lường biên dạng chi tiết tròn xoay bằng phương pháp quét laser

1. Nhận thấy với phương pháp đảo ngược giá trị biên dạng đo được đã loại bỏ được độ lệnh tâm. Điểm có giá trị độ lớn biên dạng cao nhất là 1,83 µm, độ tròn của mặt cắt đo là 3,25 µm. Tiếp tục thử nghiệm chứng minh nhận định bằng việc thay đổi độ lệch tâm khác nhau và so sánh các biên dạng đo được. Kết quả đo biên dạng với các độ lệch tâm khác nhau được thể hiện trên hình 4.12, độ lệch tâm thể hiện trên hình 4.13. Kết quả đo biên dạng cùng một mặt cắt (Hình 4.16) trụ chuẩn 10,59 mm với các sai lệch tâm khác nhau (232,46 µm; 345,93 µm và 234,56 µm) (Hình 4.13) gần như không thay đổi. Độ tròn đo được tại 3 vị trí lệch tâm lần lượt là 3,07 µm; 3,25 µm; 3,11 µm. Điều này một lần nữa khẳng định giải pháp đảo ngược có thể khử được độ lệch tâm giữa tâm chi tiết và tâm quay. Hình 4. 12: Biên dạng mẫu trụ chuẩn 10,59 mm với các độ lệch tâm khác nhau Hình 4. 13: Độ lệch tâm xác định bằng phương pháp đảo ngược. 95
2. + Kết quả thử nghiệm: Kết quả đo độ tròn mẫu cầu chuẩn R3865 bằng phương pháp quét laser khi thay đổi độ lệch tâm từ 0 đến 200 µm được thể hiện trên Hình 4.15. 0.70 0.60 0.50 0.40 0.30 Giá trị độ tròn độ trị (µm) Giá 0.20 0.10 0.00 0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200 Giá trị lệch tâm (µm) Hình 4. 15: Kết quả đo độ tròn khi thay đổi độ lệch tâm. Hình 4. 16: Kết quả đo độ tròn trên máy đo độ tròn. Từ các kết quả thử nghiệm trên ta có nhận xét: Khi thay đổi độ lệch tâm trong khoảng (0 đến 200) µm thì giá trị độ tròn đo được trong khoảng (0,23 đến 0,61) µm (Giá trị đo trên máy đo độ tròn là 0,25 µm). Khi độ lệch tâm tăng thì giá trị độ tròn tăng. Điều này đúng với nhận định ban đầu. Như vậy, để nâng cao độ chính xác khi đo biên dạng chi tiết tròn xoay cần điều chỉnh vị trí tâm trục chi tiết vào vị trí trung tâm vùng quét laser. 97
3. Các yếu tố ảnh hưởng đến độ không đảm bảo đo khi đo biên dạng chi tiết tròn xoay sử dụng phương pháp đảo ngược [99], [100], [101], [102] (Hình 4.17): - Ảnh hưởng do các thông số của cảm biến đo Laser scan micrometer (Loại B). - Ảnh hưởng do các chuyển động quay (Ecoder), tịnh tiến của chi tiết đo (Thước quang) (Loại B). - Ảnh hưởng do nhiệt độ, độ ẩm môi trường (Loại B). - Ảnh hưởng do rung động và tiếng ồn của môi trường (Loại B). - Ảnh hưởng do độ lặp lại giá trị đọc (Loại A). Hình 4. 17: Mô hình các yếu tố ảnh hưởng đến độ không đảm bảo đo [88]. Để đánh giá độ không đảm bảo đo biên dạng toàn bộ chi tiết tròn xoay, ta xét độ không đảm bảo đo biên dạng theo hai phương: phương ngang trục và phương dọc trục. 4.4.1 Độ không đảm bảo đo biên dạng theo phương ngang trục Các yếu tố ảnh hưởng đến sai số đo biên dạng theo phương ngang trục: - Sai số loại B: + Sai số do đầu đo trên và đầu đo dưới của máy LSM. + Sai số do chuyển động quay chi tiết. + Sai số do các yếu tố môi trường: Nhiệt độ, độ ẩm, rung động, độ ồn. - Sai số loại A: sai số do độ lặp lại các kết quả đo ngang trục. Tính toán độ không đảm bảo đo loại B: Độ không đảm bảo đo của đầu đo trên Tdege(z,) và dưới Bdege(z,) được xác định như sau: u u2 u 2 u 2 u 2 u 2 (4.2) daudo LSM nhietdo doam rungdong doon Trong đó: + udaudo là độ không đảm bảo đo của đầu đo (đầu đo trên, đầu đo dưới) + uLSM là độ không đảm bảo đo do sai số của cảm biến LSM 99
4. - Trình tự thử nghiệm: Chi tiết nhôm trục bậc được gá đặt lên máy đo biên dạng. Tiến hành đo biên dạng tại một mặt cắt theo phương pháp đảo ngược xây dựng. Để tính toán độ lệch chuẩn tiến hành đo 5 lần biên dạng. - Kết quả thử nghiệm: Kết quả biên dạng mặt cắt chi tiết trục nhôm bậc của 5 lần đo được thể hiện trên Hình 4.19. Lần đo 1 Lần đo 2 Lần đo 3 Lần đo 4 Lần đo 5 6.50 1.50 -3.50 Biên dạng Biên dạng (µm) Góc quay (độ) Hình 4. 19: Kết quả 5 lần đo lặp lại biên dạng. Độ lệch chuẩn của kết quả đo được tính toán bằng công thức: 1 n 2  ()LLL (4.4) n 1 i i 1 Trong đó: n là số lần đo (n = 5), Li là kết quả đo biên dạng của lần đo thứ i, L là kết quả trung bình của các lần đo. Kết quả tính độ lệch chuẩn như bảng sau: Bảng 4.1: Bảng tính độ lệch chuẩn kết quả đo biên dạng ngang trục. Kết quả đo biên dạng Góc (µm) Độ lệch chuẩn (L) quay (µm) (độ) Lần đo 1 Lần đo 2 Lần đo 3 Lần đo 4 Lần đo 5 0 0.11 0.83 -0.18 0.73 0.46 0.42 10 -0.84 -1.25 -1.41 -0.70 -1.12 0.29 20 0.96 0.85 0.71 1.05 0.87 0.13 30 -1.19 -0.83 -1.39 -1.35 -1.19 0.22 40 -0.91 -0.90 -0.71 -1.32 -0.98 0.22 50 -0.81 -0.60 -0.96 0.10 -0.49 0.41 60 -1.14 -1.25 -1.71 -1.77 -1.75 0.30 70 0.01 -0.15 -0.56 -0.65 -0.45 0.28 80 0.64 0.35 0.16 0.50 0.34 0.18 90 0.21 0.45 0.36 -0.27 0.18 0.28 100 0.64 0.65 0.34 -0.25 0.25 0.37 110 -0.46 0.00 -0.46 -0.02 -0.16 0.23 120 -0.26 0.00 -0.61 -0.17 -0.26 0.22 101
5. số phủ k = 2 và xác xuất tin cậy là 95%. Giá trị độ tròn tại mặt cắt đo sẽ là 13,02 ± 1,68 (µm). Để khẳng định tính khả thi của phương pháp đo xây dựng, tiến hành so sánh kết quả đo biên dạng chi tiết nhôm tại cùng 1 mặt cắt (Chiều cao Z = 211,5 mm) trên máy đo độ tròn công nghiệp model F135 của hãng JENOPTIK. (a) (b) Hình 4. 20: a) Mô hình bố trí thử nghiệm, b) Kết quả đo biên dạng tại mặt cắt có chiều cao z=211,5 mm trên máy đo độ tròn F135. Biên dạng thu được ở cả hai phương pháp là tương đồng (Hình 4.19 và Hình 4.20b) với hệ số tương quan mạnh bằng 0,89 (Phụ lục 5). Kết quả độ tròn đo được trên máy đo độ tròn F135 là 13,47 µm và trên thiết bị quét laser là 13,02 µm, chênh lệch giá trị độ tròn của hai phương pháp 0,45 µm (Chênh lệch này do nhiều nguyên nhân như độ không đảm bảo đo của phương pháp quét laser, máy đo độ tròn F135, chất lượng bề mặt mẫu, ). Cả hai phương pháp đều phát hiện được một điểm có biên dạng thay đổi bất thường. Điều này khẳng định được tính khả thi của phương pháp đo quét laser xây dựng. 4.4.2 Độ không đảm bảo đo biên dạng theo phương dọc trục Các yếu tố ảnh hưởng đến sai số đo biên dạng theo phương dọc trục: - Sai số loại B: + Sai số do đầu đo trên và đầu đo dưới của máy LSM. + Sai số do chuyển động tịnh tiến chi tiết. + Sai số do các yếu tố môi trường: Nhiệt độ, độ ẩm, rung động, độ ồn. - Sai số loại A: sai số do độ lặp lại các kết quả đo. Tính toán độ không đảm bảo đo loại B: Tương tự như phân tích ở mục 4.4.1, ta có độ không đảm bảo đo loại B: u 2 daudo 2 (4.7) uuB tinhtien 2 Độ không đảm bảo đo do chuyển động tịnh tiến chính là độ không đảm bảo đo của thước quang (Độ chính xác ± 5 µm) và được ước lượng theo phân bố hình chữ nhật: 103
6. 1.00 0.50 0.00 1 2 -0.50 3 4 5 6 7 8 -1.00 9 10 -1.50 Biên dạng Biên dạng (µm) -2.00 Vị trí đo dọc trục Lần đo 1 Lần đo 2 Lần đo 3 Lần đo 4 Lần đo 5 Hình 4. 23: Biên dạng dọc trục chi tiết trục nhôm bậc. Độ lệch chuẩn của phép đo biên dạng dọc trục được tính toán như bảng sau: Bảng 4.2: Bảng tính độ lệch chuẩn kết quả đo biên dạng dọc trục. Kết quả đo biên dạng Vị trí (µm) Độ lệch chuẩn (L) đo (µm) Lần đo 1 Lần đo 2 Lần đo 3 Lần đo 4 Lần đo 5 1 -0.42 -0.73 -0.29 -0.54 -0.41 0.17 2 0.29 0.38 0.41 0.35 0.43 0.05 3 -0.15 -0.31 -0.16 -0.32 -0.19 0.08 4 0.14 0.69 0.71 0.14 0.15 0.31 5 0.45 0.29 0.53 0.41 0.59 0.12 6 -0.32 -0.29 -0.21 -0.35 -0.23 0.06 7 -1.14 -1.25 -1.71 -1.77 -1.75 0.30 8 0.28 0.11 0.49 0.18 0.25 0.14 9 -0.10 -0.23 -0.51 -0.22 -0.17 0.16 10 0.30 0.75 0.34 0.38 0.58 0.19 Từ bảng tính toán độ lệch chuẩn tại các mặt cắt đo nhận thấy mặt cắt đo thứ 6 có độ lệch chuẩn lớn nhất bằng 0,31 µm. Độ không đảm bảo đo loại A:  (L ) 0,31 umA 0,14( ) n 5 Độ không đảm bảo đo tổng hợp: u u2 u 2 0,14 2 3 2 3( m ) c A B Với hệ số phủ k = 2, xác xuất tin cậy 95%, độ không đảm bảo đo mở rộng là: U kuc 2.3 6 ( m ) . 105
7. (a) (b) Hình 4. 25: Thông số đầu vào của bài đo biên dạng. a) Thông số đầu vào từ Bộ điều khiển LS5001 và Bộ hiển thị tọa độ WE6800-3, b) Thông số đầu vào của Mạch điều khiển chuyển động quay và tịnh tiến. 4.5.1 Đo biên dạng chi tiết trục nhôm bậc Sơ đồ bố trí thử nghiệm như Hình 4.18. Sau khi thu được tập dữ liệu các điểm đo biên dạng chi tiết trục nhôm bậc chuyển qua phần mềm 3D Meshlab ta được biên dạng như Hình 4.26b,c. 107
8. Bảng 4.3: Bảng so sánh kết quả đo trên máy CMM và thiết bị 3D-LSM-01. Kết quả đo đường kính Kết quả đo độ tròn Vị trí (mm) (µm) đo Thiết bị 3D- Chênh Thiết bị 3D- Chênh (mm) Máy CMM Máy CMM LSM-01 lệch LSM-01 lệch 10 14,964 14,968 0,004 5,2 4,5 0,7 20 14,963 14,960 0,003 1,3 0,4 0,9 30 16,372 16,375 0,003 6,3 7,1 0,8 40 19,969 19,970 0,001 4,2 4,8 0,3 50 19,965 19,969 0,004 3,8 4,2 0,4 60 19,960 19,963 0,003 4,1 4,7 0,6 70 19,966 19,962 0,004 2,4 2,9 0,5 80 19,962 19,963 0,001 5,1 5,6 0,5 90 32,476 32,481 0,005 6,4 6,9 0,5 100 34,031 34,030 -0,001 5,9 5,4 0,5 120 34,027 34,022 -0,005 4,4 4,8 0,4 140 34,032 34,034 0,002 5,9 5,5 0,4 160 34,033 34,036 0,003 4,8 4,3 0,5 Chi tiết trục nhôm Hình 4. 28: Mô hình máy đo CMM hãng Microstar. 109
9. Từ kết quả biên dạng đạn đo được trên thiết bị quét laser 3D-LSM-01 ta xác định được các kích thước cần đo. So sánh với bản vẽ thiết kế để đánh giá sự phù hợp về chất lượng của quá trình gia công và lắp ghép đạn trong sản xuất. 4.6 Kết luận chương 4 Nội dung Chương 4 đã sử dụng các chuẩn mẫu đánh giá sai số thiết bị đo biên dạng 3D-LSM-01 sau thiết kế, chế tạo: Sai số máy LSM, sai số dịch chuyển dọc trục, sai lệch đường dẫn hướng. Thử nghiệm đánh giá giải pháp nâng cao độ chính xác bằng phương pháp đảo ngược. Đánh giá ảnh hưởng vị trí của chi tiết đo trong vùng quét laser đến kết quả đo biên dạng. Đánh giá độ không đảm đo của thiết bị đo sau chế tạo. Độ không đảm bảo đo mở rộng theo phương ngang trục là 1,68 µm, phương dọc trục là 6 µm với hệ số phủ k = 2, xác xuất tin cậy là 95%. Với độ không đảm bảo đo này cảm biến hoàn toàn có thể ứng dụng đo biên dạng các chi tiết đạn trong sản xuất quốc phòng. Tiến hành thử nghiệm đo biên dạng một số dạng chi tiết tròn xoay thông dụng, đặc biệt là biên dạng các loại đạn trong sản xuất quốc phòng. Kết quả đo biên dạng chứng minh tính khả thi của phương pháp đo biên dạng luận án đề xuất. 111
10. DANH MỤC CÁC CÔNG TRÌNH ĐÃ CÔNG BỐ CỦA LUẬN ÁN 1. Lê Xuân Cam, Nguyễn Văn Vinh (2018), "Thiết kế, chế tạo thiết bị đo biên dạng 3D chi tiết tròn xoay sử dụng phương pháp quét laser truyền qua", Hội nghị khoa học và công nghệ toàn quốc về cơ khí lần thứ V - VCME 2018, tr.622-628. 2. Lê Xuân Cam, Nguyễn Văn Vinh, Lưu Đức Hùng (2019), "Ứng dụng phương pháp quét laser truyền qua trong kiểm tra biên dạng 3D đạn", Tạp chí nghiên cứu Khoa học và Công nghệ quân sự (ISSN 1859 - 1043), số 62 (2019), tr.195-204. 3. Le Xuan Cam, Nguyen Van Vinh, Hoang Hong Hai (2020), "Measurement Profile of Surface Revolution by Laser Scan Micrometer Method", American Scientific Research Journal for Engineering, Technology and Sciences (ISSN 2313-4402), Volume 67 (2020), No 1, pp 36-44. 4. Lê Xuân Cam, Nguyễn Văn Vinh, Hoàng Hồng Hải (2020), "Nghiên cứu đo biên dạng chi tiết tròn xoay bằng thiết bị quét laser", Hội nghị khoa học kỹ thuật đo lường toàn quốc lần thứ VII (2020), tr.259-265. 5. Lê Xuân Cam, Nguyễn Văn Vinh, Hoàng Hồng Hải (2020), "Nghiên cứu nâng cao độ chính xác đo độ tròn bằng phương pháp quét laser", Hội nghị khoa học kỹ thuật đo lường toàn quốc lần thứ VII (2020), tr.253-258. 6. Le Xuan Cam, Nguyen Van Vinh, Hoang Hong Hai (2020), "Non-contact Measurement Profile 2D of Revolution Surface by Using a Laser Scan Micrometer Device", The Second International Conference on Material, Machines, and Methods for Sustainable Development - MMMS2020, tr.205-212. 7. Le Xuan Cam, Nguyen Van Vinh, Hoang Hong Hai (2021), "Measurement of Cylinder Surface Profile by Using a Laser Scan Micrometer Device", International Journal of Advanced Research in Engineering and Technology (IJARET) (ISSN 0976- 6499), Volume 12, Issue 1, January 2021, pp. 465-472. 8. Lê Xuân Cam, Nguyễn Văn Vinh, Hoàng Hồng Hải, Nguyễn Thị Kim Cúc (2021), " Đánh giá độ không đảm bảo đo trong phép đo độ trụ chi tiết tròn xoay bằng phương pháp quét laser", Tạp chí Khoa học Giao thông vận tải (ISSN 2615-9554), Tập 72, Số 9 (12/2021), tr.1107-1117. 113
11. [16] Stepien, Krzysztof (2014), "New trends in design of instruments for measurements of roundness and cylindricity", Advanced Technologies in Mechanics, doi: 10.17814/atim.y2014.iss1(1).art8. [17] Page, D. et al (2005), "3D CAD model generation of mechanical parts using coded‐pattern projection and laser triangulation systems", Assembly Automation 25(3), pp. 230-238. [18] Denkena, Berend & Huke, Philipp (2009), "Development of a high resolution pattern projection system using linescan cameras", Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, doi: 10.1117/12.823837. [19] B. Denkena, P. Huke, "Development of a high resolution pattern projection system using linescan cameras", Proc. SPIE 7389, Optical Measurement Systems for Industrial Inspection VI, 73890F (17 June 2009). [20] Frank Chen, Mumin Song, Gordon M. Brown (2000), "Overview of three- dimensional shape measurement using optical methods", Optical Enineering, 39, pp. 10–22. [21] Apulacheeva, E. (2006), "Overview of 3D surface digitization technologies in Europe", Three-Dimensional Image Capture and Applications VII, Proceedings of the SPIE. 6056. [22] Schwarte, R. (1997), "Überblick und Vergleich aktueller Verfahren der optischen Formerfassung", GMA-Bericht 30, Optische Formerfassung, Langen, pp. 1-12. [23] Sandner, Marc. (2015), "Optical measurement of partially specular surfaces by combining pattern projection and deflectometry techniques", doi: 10.13140/RG.2.1.3771.7363. [24] Sindhu, V. & Soundarapandian, S. (2019), "Three-dimensional modelling of femur bone using various scanning systems for modelling of knee implant and virtual aid of surgical planning", Measurement: Journal of the International Measurement Confederation, 141:190–208, doi: 10.1016/j.measurement.2019.04.017. [25] Hosseininaveh, Ali. (2014), "Photogrammetric Multi-View Stereo and Imaging Network Design". [26] Sensor.html [27] light/index.html [28] Laser Scan Micrometer-Mitutoyo (accessed on 5 October 2017)., Available online: Scan-Mic.pdf. [29] Niu, Zengyuan & Chen, Yuan-Liu & Shimizu, Yuki & Matsukuma, Hiraku & Gao, Wei. (2018), "Error Separation Method for Precision Measurement of the Run-Out of a Microdrill Bit by Using a Laser Scan Micrometer Measurement System", Journal of Manufacturing and Materials Processing, 2(1), 4, doi: 10.3390/jmmp2010004. [30] inglese/tecnologia.html. [31] 115
12. [47] Liu HW, Xiang H, Chen JH, Yang R (2018), "Measurement and compensation of machine tool geometry error based on Abbe principle", Int J Adv Manuf Technol 98:2769–2774. [48] Wu CJ, Fan JW, Wang QH, Pan R, Tang YH, Li ZS (2018), "Prediction and compensation of geometric error for translational axes in multi-axis machine tools", Int J Adv Manuf Technol 98, pp. 3413–3435. [49] Zhang M, Liu Y, Sun C, Wang X, Tan J. (2019), "A systematic error modeling and separation method for the special cylindrical profile measurement based on 2-dimension laser displacement sensor", Review of Scientific Instruments, 90, 105006, doi: 10.1063/1.5111350. [50] D. Janecki and J. Zwierzchowski (2015), "A method for determining the median line of measured cylindrical and conical surfaces", Meas. Sci. Technol. 26, 085001. [51] Sun, Chuanzhi; Wang, Lei; Tan, Jiubin; Zhao, Bo; Zhou, Tong; Kuang, Ye (2016), "A high-accuracy roundness measurement for cylindrical components by a morphological filter considering eccentricity, probe offset, tip head radius and tilt error", Measurement Science and Technology, 27(8), 085008– . doi:10.1088/0957-0233/27/8/085008 [52] P. Chiabert, M. De Maddis, G. Genta et al. (2018), "Evaluation of roundness tolerance zone using measurements performed on manufactured parts: A probabilistic approach", Precis. Eng. 52, pp. 434–439. [53] J. Kennedy and R. Eberhart (1995), "Particle swarm optimization", Proceedings of ICNN’95 – International Conference on Neural Networks, Vols. 1–6, pp. 1942–1948. [54] J. J. Liang, A. K. Qin, P. N. Suganthan et al. (2006), "Comprehensive learning particle swarm optimizer for global optimization of multimodal functions", IEEE Trans. Evol. Comput. 10(3), pp. 281–295. [55] J. Kennedy (1997), "The particle swarm: Social adaptation of knowledge", in Proceedings of 1997 IEEE International Conference on Evolutionary Computation, pp. 303–308. [56] S. Mekid, K. Vacharanukul (2006), "Differential laser doppler based noncontact sensor for dimensional inspection with error propagation evaluation", Sensors 6, pp. 546–556. [57] S. Mekid; K. Vacharanukul (2011), "In-process out-of-roundness measurement probe for turned workpieces", 44(4), pp. 762–766. [58] Wenwen Liu, Kuangchao Fan, Penghao Hu, Yi Hu (2018), "A parallel error separation method for the on-line measurement and reconstruction of cylindrical profiles", Precision Engineering, Volume 51, pp. 1-9. [59] K. Endo, W. Gao, and S. Kiyono (2013), "A new multi-probe arrangement for surface profile measurement of cylinders", JSME Int. Journal, Ser. C Mech. Syst. Mach. Elem. Manuf., vol. 46, no. 4, pp. 1531–1537, doi: 10.1299/jsmec.46.1531. [60] X. Lei, J. Li, Y. Li, Y. Zhou, Y. Xue and X. Ren (2006), "Separating and Reconstructing Techniques of Cylindricity Error by Three-point Method", 2006 International Conference on Mechatronics and Automation, pp. 89-94, doi: 10.1109/ICMA.2006.257458. 117
13. [79] Janecki, Dariusz & Zwierzchowski, Jarosław (2009), "The bird-cage method used for measuring cylindricity. A problem of optimal profile matching" . 19th IMEKO World Congress, ISBN 978-88410-0-1, pp. 1784 – 1789. [80] Sun, Chuanzhi; Li, Chengtian; Liu, Yongmeng; Wang, Hongye; Wang, Baosheng; Wang, Xiaoming; Tan, Jiubin (2019), "A cylindricity evaluation approach with multi-systematic error for large rotating components". Metrologia, volume 57, number 2, doi: 10.1088/1681-7575/ab55c4. [81] Sun, Chuanzhi & Wang, Hongye & Liu, Yongmeng & Wang, Xiaoming & Wang, Baosheng & Li, Chengtian & Tan, Jiubin (2020), "A cylindrical profile measurement method for cylindricity and coaxiality of stepped shaft", The International Journal of Advanced Manufacturing Technology, doi: 10.1007/s00170-020-06296-5. [82] Lê Xuân Cam (2015), "Nghiên cứu độ chính xác khi đo profile bề mặt chi tiết máy bằng phương pháp quét laser theo đường", Luận văn Thạc sĩ khoa học. [83] n_Micrometer_WEB.pdf [84] Sun, Chuanzhi & Wang, Lei & Tan, Jiubin & Zhao, Bo & Tang, Yangchao (2016), "Design of roundness measurement model with multi-systematic error for cylindrical components with large radius", Review of Scientific Instrumentsu, 87, 025110, doi: 10.1063/1.4941679. [85] Lee, J.; Noh, Y.; Arai, Y.; Gao, W.; Park, C. (2009), "Precision Measurement of Cylinder Surface Profile on an Ultra-Precision Machine Tool", Measurement Science Review, 9(2), doi: 10.2478/v10048-009-0008-4. [86] Wei Gao; Jun Yokoyama; Hidetoshi Kojima; Satoshi Kiyono (2002), "Precision measurement of cylinder straightness using a scanning multi-probe system", 26(3), pp. 279–288. doi: 10.1016/s0141-6359(02)00106-x. [87] Zhang, Risheng & Yang, Jialin & Shang, Erwei & Chen, Yanqiu & Liu, Yu. (2018), "Error Analysis of Radial Motion Measurement of Ultra-Precision Spindle", World Journal of Engineering and Technology, 06, pp. 567-574. 10.4236/wjet.2018.63034. [88] Marsh, Eric R. et al. (2010), "A comparison of reversal and multiprobe error separation", Precision Engineering, 34, pp. 85-91. [89] Giacomo, B. D. and Rita de Cássia Alves de Magalhães (2003), "Reversal Technique Applied To The Measurement Of Straightness Errors" ABCM Symposium Series in Mechatromics, vol. 1, pp. 479-487. [90] Suganthi, X.H.; Natarajan, U.; Ramasubbu, N. (2015), "A review of accuracy enhancement in microdrilling operations", Int. J. Adv. Manuf. Technol., 81, pp. 199–217. [91] Evans, C.J.; Hocken, R.J.; Estler, W.T. (1996), "Self-calibration: Reversal, redundancy, error separation, and ‘absolute testing’", CIRP Ann.-Manuf. Technol., 45, pp. 617–634. [92] Gao, W.; Lee, J.C.; Arai, Y.; Noh, Y.J.; Hwang, J.H.; Park, C.H. (2010), "Measurement of slide error of an ultra-precision diamond turning machine by using a rotating cylinder workpiec", Int. J. Mach. Tools Manuf., 50, pp. 404– 410. 119
14. PHỤ LỤC 121
15. Phụ luc 3 125