Luận án Xác định các thuộc tính Plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí Tries và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch

Plasma
Plasma là một trong bốn trạng thái cơ bản của vật chất, và được nhà hóa
học Irving Langmuir mô tả lần đầu tiên trong những năm 1928 [27]. Nó bao gồm
một chất khí gồm các ion, các nguyên tử mất một số electron trên quỹ đạo và các
electron tự do. Hơn 99% vật chất trong vũ trụ nhìn thấy là ở trạng thái plasma.
Thực tế các ngôi sao, cũng như tất cả các ngôi sao có thể nhìn thấy, đang ở trạng
thái plasma.
Phân loại plasma
Phân loại plasma dựa vào nhiệt độ của điện tử, plasma được chia thành
:plasma nóng và plasma không nóng (hay còn gọi là plasma lạnh) [54].
*Plasma nóng
Plasma nóng (nhiệt) bao gồm các ion âm và các hạt tích điện nặng, nằm
trong trạng thái cân bằng nhiệt với nhau, tức là cả hai đều ở cùng nhiệt độ [26].
Plasma nhiệt là nhiệt động lực học và có thể tìm thấy rất nhiều trong vũ trụ [39].
Plasma nóng được áp dụng trong công nghiệp trên phạm vi rộng. Những
thành tựu kinh tế mới là luyện kim, phun phủ plasma, ngưng tụ hơi vật lý, hóa học
và loại bỏ các chất độc hại. Công nghệ plasma nóng hiện nay chủ yếu bao gồm hồ
quang điện, plasma có tốc độ cao phản ứng hạt nhân plasma nhiệt độ siêu cao và
plasma xung phóng điện.
*Plasma không nóng
Plasmas không nhiệt (Plasma lạnh) có điện tử ở nhiệt độ cao hơn nhiều so với các
hạt tích điện nặng. Plasma lạnh không giống như trạng thái cân bằng nhiệt động
lực học [41]. Các nguồn ion thông thường bao gồm máy phát plasma để tách và
tăng tốc ion [19]. Các kỹ thuật được sử dụng phổ biến nhất trong máy phát điện
plasma để tạo ra phóng điện là điện tử cộng hưởng cyclotron và nguồn ion hóa tần
số vi sóng [51]. Trong những năm gần đây, công nghệ plasma đang phát triển
nhanh chóng cho các ứng dụng công nghiệp cũng như thương mại. Công nghệ
plasma cómột ứng dụng mạnh mẽ để sử dụng trong quá trình luyện kim, các công
cụ công nghệ nano. 
pdf 165 trang phubao 26/12/2022 3060
Bạn đang xem 20 trang mẫu của tài liệu "Luận án Xác định các thuộc tính Plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí Tries và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch", để tải tài liệu gốc về máy hãy click vào nút Download ở trên.

File đính kèm:

  • pdfluan_an_xac_dinh_cac_thuoc_tinh_plasma_ion_hoa_yeu_trong_va.pdf
  • pdfCông văn đề nghị đang tải luận án lên hệ thống lên hệ thống dữ liệu quốc gia_Phan Thị Tươi1.pdf
  • pdfQuyết định thành lập hội đồng Bảo vệ cấp trường NCS_Phan Thị Tươi.pdf
  • pdfThong-tin-dua-len-mang-_Tieng-Viet-Tieng-Anh_PHAN THI TUOI.pdf
  • pdfTÓM TẮT TIENG ANH_Phan Thi Tuoi.pdf
  • pdfTÓM TẮT TIẾNG VIỆT_Phan Thi Tuoi.pdf

Nội dung text: Luận án Xác định các thuộc tính Plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí Tries và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch

  1. P-6 Phụ lục 3. Số liệu về tiết diện va chạm của phân tử khí O2 ε Qm Qm Qm Qrot Qrot ε Qatt ε (eV) ε (eV) ε (eV) ε (eV) (eV) (×10-16cm2) (×10-16cm2) (×10-16 cm2) (×10-16 cm2) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) 0,000 0,350 0,600 6,3400 11,000 6,500 0,000 0,000 1,1300 0,0000 0,000 0,000 0,001 0,350 0,710 6,5600 11,600 7,000 0,067 0,000 1,1400 0,03978 0,058 0,000 0,002 0,350 0,800 6,6800 12,000 7,100 0,070 0,000 1,1600 0,0000 0,0730 0,002 0,003 0,400 0,900 6,8000 12,600 7,080 0,080 0,054 1,2300 0,0000 0,0830 0,0064 0,005 0,500 1,000 6,9200 13,000 7,020 0,100 0,000 1,2400 0,051 0,0890 0,0015 0,007 0,590 1,200 7,0800 15,000 6,700 0,200 0,000 1,2600 0,0000 0,0950 0,0030 0,010 0,700 1,400 7,2000 20,000 6,100 0,210 0,032 1,3400 0,0000 0,1030 0,0064 0,012 0,012 1,500 7,2600 25,000 5,600 0,220 0,000 1,3500 0,0306 0,1090 0,0000 0,015 0,870 1,700 7,3800 30,000 5,100 0,320 0,000 1,3700 0,0000 0,2000 0,0000 0,020 1,010 1,900 7,4600 40,000 4,300 0,330 0,057 1,4400 0,0000 0,2100 0,0013 0,025 1,150 2,000 7,4650 50,000 3,700 0,350 0,000 1,4500 0,0204 0,2300 0,0000 0,030 1,270 2,100 7,4000 60,000 3,100 0,440 0,000 1,4700 0,0000 0,3200 0,0000 0,040 1,490 2,200 7,3000 80,000 2,268 0,450 0,045 1,5400 0,0000 0,3300 0,0008 0,050 1,700 2,500 6,9000 100,00 1,750 0,470 0,000 1,5500 0,0102 0,3500 0,0000 0,060 1,880 3,000 6,3000 120,00 1,460 0,560 0,000 1,5700 0,0000 0,4400 0,0000
  2. P-8 ε Qm Qm Qm Qrot Qrot ε Qatt ε (eV) ε (eV) ε (eV) ε (eV) (eV) (×10-16cm2) (×10-16cm2) (×10-16 cm2) (×10-16 cm2) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) 4,700 0,000 0,210 0,0015 1,1600 0,000 12,00 0,143 0,4500 0,0000 1,3700 0,0000 5,000 0,000 0,230 0,0000 1,2300 0,000 13,00 0,102 0,4700 0,0000 1,4400 0,0000 5,500 0,040 0,320 0,0000 1,2400 0,060 14,00 0,071 0,5600 0,0000 1,4500 0,0236 5,780 0,060 0,330 0,6225 1,2600 0,000 15,00 0,025 0,5700 0,1190 1,4700 0,0000 6,000 0,080 0,350 0,0000 1,3400 0,000 20,00 0,010 0,5900 0,0000 1,5400 0,0000 6,200 0,011 0,440 0,0000 1,3500 0,021 45,00 0,000 0,6800 0,0000 1,5500 0,0109 6,500 0,014 0,450 1,4918 1,3700 0,000 100,0 0,000 0,6900 0,3528 1,5700 0,0000 6,700 0,017 0,470 0,0000 1,4400 0,000 0,7100 0,0000 1,6300 0,0000 7,000 0,014 0,590 0,0000 1,5400 0,000 0,8200 0,0000 3,5000 0,0000 7,3500 0,0060 0,6800 0,0000 1,5500 0,0026 0,9000 0,0000 4,0000 0,0000 7,7000 0,0030 0,6900 1,4025 1,5700 0,0000 0,9100 0,3953 5,0000 0,0280 8,4800 0,0017 0,7100 0,0000 1,6300 0,0000 0,9300 0,0000 6,0000 0,0400 9,6300 0,0008 0,7900 0,0000 1,6500 0,0009 1,0200 0,0000 7,0000 0,0730 9,8800 0,0008 0,8000 1,2750 1,6700 0,0000 1,0300 0,2678 8,0000 0,0940 10,000 0,0008 0,8200 0,0000 3,5000 0,0000 1,0500 0,0000 9,0000 0,1100 10,540 0,0007 0,9000 0,0000 4,2500 0,0400 1,1300 0,0000 10,0000 0,1090
  3. P-10 ε Qm Qm Qm Qrot Qrot ε Qatt ε (eV) ε (eV) ε (eV) ε (eV) (eV) (×10-16cm2) (×10-16cm2) (×10-16 cm2) (×10-16 cm2) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) 1,0300 0,1020 1,5700 0,0000 15,000 0,0088 1,1400 0,014 1,670 3,12E-4 1,0500 0,0000 1,6300 0,0000 20,000 0,0000 1,1600 0,000 6,000 2,4E-4 1,1300 0,0000 1,6500 0,0102 45,000 0,0000 1,2300 0,000 7,000 1,61E-4 1,1400 0,0978 1,6700 0,0000 100,00 0,0000 1,2400 0,0268 8,000 7,06E-5 9,0000 0,0413 0,0000 0,0000 9,0000 0,0850 0,0000 0,0000 9,2600 0,026 28,000 0,008 10,000 0,0463 0,9770 0,0000 10,0400 0,0750 1,6270 0,0000 10,0000 0,023 35,100 0,063 11,000 0,0313 1,5000 0,0058 13,0000 0,0550 2,0000 0,0026 11,0000 0,0195 41,900 0,008 12,000 0,0250 2,0000 0,0153 15,1000 0,0455 3,0000 0,0107 12,0000 0,0167 45,100 0,000 13,000 0,0175 3,0000 0,0400 17,5000 0,0387 4,0000 0,0139 13,0000 0,015 14,000 0,0088 3,5000 0,0550 20,5000 0,0324 5,0000 0,0152 14,9000 0,014 15,000 0,0000 4,0000 0,0700 24,9000 0,0256 5,6900 5,6900 17,0000 0,0130 100,00 0,0000 5,0000 0,0950 30,9000 0,0196 6,5400 0,0220 19,4000 0,0125 6,0000 0,1150 41,0000 0,0137 7,1000 0,0260 20,7000 0,0125 7,0000 0,1100 45,0000 0,0120 7,6000 0,0285 22,5000 0,0110 8,0000 0,0950 100,000 0,0000 8,4100 0,0278 24,0000 0,0100 0,0000 0,0000 0,0000 0,0000 40,0000 2,9500 0,0000 0,0000 60,0000 0,0460 0,0000 0,0000
  4. P-12 ε Qm Qm Qm Qrot Qrot ε Qatt ε (eV) ε (eV) ε (eV) ε (eV) (eV) (×10-16cm2) (×10-16cm2) (×10-16 cm2) (×10-16 cm2) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) 60,000 0,0064 500,00 0,0006 0,0000 0,0000 80,000 2,4300 800,000 1,1000 0,0000 0,0000 70,000 0,0056 600,00 0,0005 12,0600 0,0000 100,00 2,5700 1000,00 0,9400 13,3000 0,0000 80,000 0,0048 800,00 0,0003 15,0000 0,0600 120,00 2,5800 1200,00 0,8200 14,0000 0,0008 100,00 0,0038 1000,0 0,0002 20,0000 0,2700 150,00 2,5400 1500,00 0,7000 15,0000 0,0020 120,00 0,0031 25,0000 0,5400 200,00 2,3900 2000,00 0,5500 16,0000 0,0035 150,00 0,0024 30,0000 0,8300 250,00 2,2000 18,0000 0,0065 200,00 0,0018 40,0000 1,3700 300,00 2,0100 20,0000 0,0092 250,00 0,0014 50,0000 1,7900 400,00 1,7200 22,0000 0,0111 300,00 0,0011 60,0000 2,0900 500,00 1,5100 25,0000 0,0131 400,00 0,0008 70,0000 2,3100 600,00 1,3400 30,0000 0,0154 35,000 0,0171 150,00 0,0186 40,000 0,0182 200,00 0,0167 45,000 0,0192 250,00 0,0153 50,000 0,0197 300,0 0,0139 60,000 0,0204 400,00 0,0116 70,000 0,0207 500,00 0,0102
  5. P-14 Phụ lục 4. Số liệu về tiết diện va chạm của nguyên tử khí Ar Qm Qm Qex1 ε Qm ε Qex2 ε Qex3 (×10-16 ε (eV) ε (eV) (×10-16 (×10-16 ε (eV) (eV) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) cm2) cm2) cm2) 0,0000 6,3000 0,2600 0,0980 17,000 12,1400 0,000 0,0000 0,000 0,0000 0,000 0,0000 0,0100 4,5000 0,2800 0,1200 18,000 11,2050 11,600 0,0000 11,600 0,0000 11,800 0,0000 0,0140 3,8800 0,3000 0,1510 20,000 10,1000 12,000 0,0160 12,000 0,0040 13,0000 0,0290 0,0170 3,5600 0,3200 0,1880 25,000 6,9000 12,300 0,0340 13,000 0,0120 14,0000 0,0490 0,0200 3,2800 0,3250 0,2060 30,000 5,4600 13,000 0,0490 14,000 0,0200 15,0000 0,0650 0,0250 2,8900 0,4000 0,3170 40,000 4,0500 14,000 0,0310 15,000 0,0280 16,0000 0,0760 0,0300 2,5700 0,5000 0,5040 50,000 3,4800 15,000 0,0400 16,000 0,0350 17,0000 0,0860 0,0350 2,2900 0,6500 0,7920 60,000 3,1200 16,000 0,0500 17,000 0,0430 18,0000 0,0940 0,0400 2,0500 0,8000 1,0500 70,000 2,8900 17,000 0,0550 20,000 0,0470 20,0000 0,1030 0,0500 1,6620 1,0000 1,3700 80,000 2,6800 18,000 0,0550 22,000 0,0510 22,0000 0,1140 0,0600 1,3570 1,2000 1,6600 100,000 2,3100 19,000 0,0450 24,000 0,0520 24,0000 0,1230 0,0700 1,1140 1,5000 2,0500 120,000 2,0400 20,000 0,0390 26,000 0,0530 26,0000 0,1320 0,0800 0,9160 1,7000 2,3300 150,000 1,7300 25,000 0,0200 28,000 0,0530 28,0000 0,1400
  6. P-16 Qm Qm Qex1 ε Qm ε Qex2 ε Qex3 (×10-16 ε (eV) ε (eV) (×10-16 (×10-16 ε (eV) (eV) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) cm2) cm2) cm2) 0,2500 0,0910 16,0000 13,1600 0,0000 0,0000 80,0000 0,0720 0,0000 0,0000 300,0000 0,0560 0,0000 0,0000 25,0000 1,300 13,0000 0,0000 90,0000 0,0600 13,9000 0,0000 400,0000 0,0450 15,6900 0,0000 25,5000 1,350 14,0000 0,0570 100,0000 0,0520 15,0000 0,0290 500,0000 0,0370 16,0000 0,0202 26,0000 1,410 15,0000 0,1200 200,0000 0,0220 16,0000 0,0540 16,5000 0,0669 28,0000 1,600 16,0000 0,2100 300,0000 0,0140 17,0000 0,0750 17,0000 0,1337 30,0000 1,800 17,0000 0,2800 400,0000 0,0110 18,0000 0,0880 17,5000 0,2120 32,0000 1,960 18,0000 0,3500 500,0000 0,0080 20,0000 0,1000 18,0000 0,2940 34,0000 2,110 20,0000 0,4700 22,0000 0,1030 18,5000 0,3770 36,0000 2,240 22,0000 0,5200 24,0000 0,1070 19,0000 0,5460 38,0000 2,330 24,0000 0,5200 26,0000 0,1100 20,0000 0,6270 40,0000 2,390 26,0000 0,5100 28,0000 0,1120 20,5000 0,7130 42,5000 2,450 28,0000 0,4900 30,0000 0,1130 21,0000 0,7870 45,0000 2,490 30,0000 0,4500 40,0000 0,1200 21,5000 0,8580 47,5000 2,510 35,0000 0,3600 50,0000 0,1210 22,0000 0,9330 50,0000 2,5340
  7. P-18 Qm Qm Qex1 ε Qm ε Qex2 ε Qex3 (×10-16 ε (eV) ε (eV) (×10-16 (×10-16 ε (eV) (eV) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) cm2) cm2) cm2) 200,0000 2,3900
  8. P-20 0,2000 2,3000 8,0000 19,5000 30,0000 0,3250 30,0000 1,0080 20,5000 1,3100 0,2500 1,2300 9,0000 18,0000 35,0000 0,2900 35,0000 0,9220 21,0000 1,4100 0,3000 0,6400 10,0000 16,0000 40,0000 0,2500 40,0000 0,8350 21,5000 1,5000 0,3500 0,3450 12,0000 12,5000 45,0000 0,2000 45,0000 0,7630 22,0000 1,5800 0,4000 0,2300 15,0000 9,4000 50,0000 0,1700 50,0000 0,6910 22,5000 1,6700 0,4500 0,1820 20,0000 6,0000 60,0000 0,1400 60,0000 0,5900 23,0000 1,7600 0,5000 0,1710 25,0000 4,1000 70,0000 0,1200 70,0000 0,5470 23,5000 1,8500 0,5500 0,1740 30,0000 3,0000 80,0000 0,0800 80,0000 0,4180 24,0000 1,9200 0,6000 0,1900 40,0000 2,1000 100,0000 0,0650 100,0000 0,3170 26,0000 1,2400 0,7000 0,2650 50,0000 1,8000 28,0000 2,5200 0,8000 0,3950 60,0000 1,6500 30,0000 2,7700 1,0000 0,7200 80,0000 1,4700 32,0000 2,9600 1,2000 1,1100 100,0000 1,3600 34,0000 3,1300 36,0000 3,2600 38,0000 3,3800 40,0000 3,4900
  9. P-22 Qm Qex1 Qex4 ε Qm ε Qex2 Qex3 ε (×10-16 ε (eV) (×10-16 ε (eV) ε (eV) (×10-16 (eV) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) (×10-16 cm2) (eV) cm2) cm2) cm2) 0,2 7,79 35 4,6 9,35 0,018 9,7 0,0562 10,5 0,022 13,5 0,267 0,24 5,45 40 4,05 9,4 0,0176 9,8 0,059 10,75 0,0259 14 0,294 0,28 3,91 45 3,4 9,52 0,0179 9,9 0,0619 11 0,0312 14,5 0,312 0,32 2,87 50 2,78 9,55 0,0332 10 0,0677 11,5 0,0432 15 0,32 0,35 2,16 55 2,3 9,59 0,0228 10,5 0,084 12 0,0516 16 0,322 0,4 1,47 60 1,95 9,63 0,0341 11 0,101 12,5 0,057 18 0,296 0,45 0,97 65 1,7 9,68 0,0252 12 0,137 13 0,06 20 0,276 0,5 0,64 70 1,52 9,73 0,0221 13 0,175 14 0,0612 21 0,278 0,55 0,45 75 1,43 9,78 0,0224 14 0,215 15 0,0576 22 0,287 0,6 0,34 80 1,39 9,83 0,0276 15 0,253 16 0,054 25 0,35 0,62 0,32 85 1,38 9,9 0,0325 16 0,286 18 0,0432 27 0,42 0,64 0,315 90 1,39 9,94 0,0311 17,5 0,316 20 0,0354 30 0,48 0,66 0,32 95 1,43 10 0,0331 20 0,334 22 0,027 32 0,5 0,7 0,36 100 1,5 10,25 0,0408 22 0,338 25 0,0204 35 0,51 0,75 0,44 110 1,62 10,5 0,0451 25 0,342 30 0,0134 40 0,49
  10. P-24 Qm Qex1 Qex4 ε Qm ε Qex2 Qex3 ε (×10-16 ε (eV) (×10-16 ε (eV) ε (eV) (×10-16 (eV) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) (×10-16 cm2) (eV) cm2) cm2) cm2) 3,3 18,8 40 0,0066 500 0,073 3,6 21,1 50 0,0054 1000 0,043 4 24,1 60 0,0048 4,4 26,2 80 0,0042 4,8 27,7 100 0,00384 5 28,3 120 0,00348 5,2 28,7 150 0,00312 5,4 28,8 200 0,00252 5,6 28,7 300 0,00192 6 28 500 0,00132 6,5 26,8 1000 7,2E-4 9,686 0 9,789 0 9,891 0 10,039 0 10,158 0 10,22 0 10 0,01 10 0,004 10 0,017 10,2 0,006 10,2 1E-3 10,5 0,003 10,2 0,018 10,2 0,008 10,2 0,056 10,5 0,017 10,5 0,009 10,7 0,007 10,5 0,028 10,5 0,015 10,5 0,12 10,7 0,025 10,7 0,016 11 0,012
  11. P-26 Qm Qex1 Qex4 ε Qm ε Qex2 Qex3 ε (×10-16 ε (eV) (×10-16 ε (eV) ε (eV) (×10-16 (eV) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) (×10-16 cm2) (eV) cm2) cm2) cm2) 25 0,135 25 0,066 22 0,45 25 0,093 25 0,04 28 0,059 30 0,167 30 0,079 25 0,43 30 0,089 30 0,033 30 0,061 32 0,173 32 0,082 30 0,45 35 0,086 35 0,029 35 0,063 35 0,177 35 0,084 35 0,43 40 0,08 40 0,026 40 0,059 40 0,17 40 0,082 40 0,4 50 0,069 50 0,022 50 0,05 50 0,15 50 0,074 50 0,34 60 0,058 60 0,019 60 0,044 60 0,132 60 0,066 60 0,296 80 0,046 80 0,015 80 0,035 80 0,103 80 0,053 80 0,24 100 0,038 100 0,0127 100 0,029 100 0,084 100 0,044 100 0,2 120 0,033 120 0,0109 120 0,025 120 0,073 120 0,038 120 0,173 150 0,028 150 0,0092 150 0,021 150 0,062 150 0,032 150 0,148 200 0,0225 200 0,0073 200 0,017 200 0,049 200 0,026 200 0,118 300 0,0164 300 0,0054 300 0,0123 300 0,036 300 0,019 300 0,086 500 0,011 500 0,0036 500 0,0082 500 0,024 500 0,0125 500 0,058 1000 0,0064 1000 0,0021 1000 0,0048 1000 0,014 1000 0,0073 1000 0,034
  12. P-28 Qm Qex1 Qex4 ε Qm ε Qex2 Qex3 ε (×10-16 ε (eV) (×10-16 ε (eV) ε (eV) (×10-16 (eV) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) (×10-16 cm2) (eV) cm2) cm2) cm2) 20 0,37 20 0,11 30 0,0245 35 0,0128 23 2,96 120 5,87 22 0,39 22 0,119 35 0,0252 40 0,0126 24 3,14 125 5,88 25 0,44 25 0,134 40 0,0251 50 0,0123 25 3,29 130 5,85 30 0,6 27 0,144 50 0,024 60 0,0114 26 3,41 135 5,8 32 0,64 30 0,153 60 0,0234 80 0,0102 27 3,55 140 5,76 35 0,67 32 0,155 80 0,021 100 0,00915 28 3,7 145 5,71 40 0,66 35 0,153 100 0,0191 120 0,0084 29 3,82 150 5,63 50 0,6 40 0,147 120 0,017 150 0,00735 30 3,92 160 5,48 60 0,53 50 0,128 150 0,0149 200 0,00615 31 4,02 170 5,36 80 0,43 60 0,111 200 0,0125 300 0,0048 32 4,11 180 5,23 100 0,36 80 0,0885 300 0,00975 500 0,0033 33 4,21 190 5,1 120 0,32 100 0,075 500 0,00675 1000 0,00195 34 4,28 200 5,02 150 0,27 120 0,0645 1000 0,00405 35 4,36 250 4,37 200 0,218 150 0,054 36 4,43 300 3,96 300 0,158 200 0,0435 37 4,48 500 2,97
  13. P-29 Phụ lục 7. Số liệu về tiết diện va chạm của nguyên tử khí He Qm Qm Qex1 Qex1 Qex1 Qex2 ε ε ε ε ε ε (×10-16 (×10-16 (×10-16 (×10-16 (×10-16 (×10-16 (eV) (eV) (eV) (eV) (eV) (eV) cm2) cm2) cm2) cm2) cm2) cm2) 0 4,94 1,8 6,996 19,82 0 21,4 0,0422 31 0,0168 20,62 0 1E-3 5,045 2 6,992 19,85 0,0137 21,5 0,0421 32 0,0164 20,63 0,01 0,002 5,092 2,4 6,955 19,9 0,023 21,6 0,0422 35 0,0151 20,65 0,0086 0,005 5,183 2,5 6,937 19,95 0,0327 21,7 0,0426 40 0,0123 20,7 0,0133 0,008 5,246 3 6,837 20 0,042 22 0,0443 45 0,00983 20,8 0,0194 0,01 5,281 4 6,59 20,05 0,05 22,1 0,0447 50 0,00774 20,9 0,0242 0,012 5,312 5 6,29 20,1 0,055 22,2 0,0449 55 0,00599 20,95 0,027 0,015 5,353 6 5,96 20,15 0,0585 22,3 0,0446 60 0,00483 20,97 0,0277 0,02 5,413 8 5,31 20,2 0,061 22,35 0,0436 70 0,003 21 0,0268 0,025 5,465 10 4,71 20,25 0,0623 22,4 0,0392 80 0,00205 21,05 0,0262 0,03 5,504 12 4,17 20,27 0,0625 22,43 0,0325 90 0,00163 21,1 0,0266 0,04 5,59 15 3,49 20,3 0,0621 22,46 0,0588 100 0,00142 21,15 0,0274 0,05 5,657 20 2,62 20,35 0,061 22,5 0,0566 120 0,00109 21,2 0,0278 0,06 5,716 25 1,96 20,4 0,059 22,59 0,0541 150 7,31E-4 21,3 0,0279
  14. P-31 Qm Qm Qex1 Qex1 Qex1 Qex2 ε ε ε ε ε ε (×10-16 (×10-16 (×10-16 (×10-16 (×10-16 (×10-16 (eV) (eV) (eV) (eV) (eV) (eV) cm2) cm2) cm2) cm2) cm2) cm2) 1,6 6,987 1000 0,00469 21,3 0,0426 30 0,0172 22,63 0,0435 22,67 0,0341 20,96 0 28 0,0233 21,22 0 100 0,107 22,72 0 22,7 0,0305 21 0,0018 30 0,0293 21,4 0,0033 120 0,107 23 1,5E-4 22,72 0,0278 21,1 0,0066 31 0,0316 21,6 0,0067 150 0,0999 24 7,3E-4 22,8 0,0366 21,2 0,0103 32 0,032 21,8 0,0086 200 0,0864 25 0,0015 23 0,0346 21,4 0,0132 35 0,0286 22 0,01 250 0,076 26 0,00255 23,5 0,034 21,6 0,0147 40 0,0228 22,4 0,014 300 0,0691 28 0,00377 24 0,0299 21,8 0,0161 45 0,0172 22,43 0,0177 400 0,0589 30 0,0048 24,5 0,0259 22 0,018 50 0,0127 22,5 0,0162 500 0,0519 31 0,00483 25 0,0221 22,2 0,0199 55 0,0094 22,58 0,0154 600 0,0458 32 0,00468 25,5 0,0193 22,4 0,0218 60 0,00746 22,6 0,0125 800 0,0374 35 0,0041 26 0,019 22,58 0,0251 70 0,00488 22,65 0,0101 1000 0,0318 40 0,0031 27 0,0219 22,6 0,0317 80 0,00339 22,7 0,0136 45 0,00237 28 0,026 22,7 0,0141 90 0,00245 22,71 0,0181 50 0,00178 29 0,0303 22,76 0,0218 100 0,00192 22,8 0,0157 60 0,00106
  15. P-33 Qm Qm Qex1 Qex1 Qex1 Qex2 ε ε ε ε ε ε (×10-16 (×10-16 (×10-16 (×10-16 (×10-16 (×10-16 (eV) (eV) (eV) (eV) (eV) (eV) cm2) cm2) cm2) cm2) cm2) cm2) 200 0,00817 45 0,077 32 0,00468 250 0,00714 50 0,0842 35 0,0041 300 0,00632 55 0,089 40 0,0031 400 0,00503 60 0,0925 45 0,00237 500 0,00414 70 0,0979 50 0,00178 600 0,0035 80 0,102 60 0,00106 800 0,00265 90 0,105 70 6,6E-4 1000 0,00212 80 4,51E-4 90 3,59E-4 100 3,12E-4 120 2,4E-4 150 1,61E-4 200 7,06E-5 22,92 0 23,01 0 23,07 0 23,07 0 23,09 0 23,59 0 24 7,3E-4 24 8,5E-4 24 1,1E-4 24 3E-4 24 1E-3 24 1,45E-4
  16. P-35 Qm Qm Qex1 Qex1 Qex1 Qex2 ε ε ε ε ε ε (×10-16 (×10-16 (×10-16 (×10-16 (×10-16 (×10-16 (eV) (eV) (eV) (eV) (eV) (eV) cm2) cm2) cm2) cm2) cm2) cm2) 100 0,00284 90 7,11E-4 120 8,7E-5 150 0,00115 150 0,0248 120 1,09E-4 120 0,0025 100 5,61E-4 200 8,7E-4 200 0,0216 150 7,31E-5 150 0,00216 120 3,74E-4 250 6,9E-4 250 0,019 200 3,21E-5 200 0,00184 150 2,31E-4 300 5,7E-4 300 0,0173 250 0,00161 200 1,26E-4 400 4,3E-4 400 0,0147 300 0,00142 223 1E-4 500 3,55E-4 500 0,013 400 0,00113 600 2,95E-4 600 0,0115 500 9,32E-4 800 2,2E-4 800 0,00935 600 7,86E-4 1000 1,75E-4 1000 0,00795 800 5,97E-4 1000 4,77E-4 23,67 0 23,71 0 23,74 0 23,74 0 23,74 0 23,74 0 24 1,2E-4 24 8,5E-5 24 1,4E-5 24 4E-5 24 2,3E-5 24 2,25E-5 25 5E-4 25 4,3E-4 25 6,1E-5 25 1,9E-4 25 9E-5 25 1,04E-4 26 9,3E-4 26 7,5E-4 26 1.1E-4 26 3,4E-4 26 1,6E-4 26 1,83E-4
  17. P-37 Qm Qm Qex1 Qex1 Qex1 Qex2 ε ε ε ε ε ε (×10-16 (×10-16 (×10-16 (×10-16 (×10-16 (×10-16 (eV) (eV) (eV) (eV) (eV) (eV) cm2) cm2) cm2) cm2) cm2) cm2) 250 6,16E-4 150 9,55E-5 250 3,15E-4 300 5,45E-4 300 2,6E-4 400 4,34E-4 400 1,97E-4 500 3,57E-4 500 1,62E-4 600 3,01E-4 600 1,35E-4 800 2,29E-4 800 1,01E-4 1000 1,83E-4 1000 8E-5 23,74 0 23,97 0 24,01 0 24,03 0 24,04 0 24,05 0 24 1,33E-4 25 1,6E-4 25 2,4E-4 25 2E-4 25 1E-4 25 2E-4 25 5,5E-4 28 5,4E-4 28 8,45E-4 28 7E-4 28 3,6E-4 26 3,7E-4 26 9,5E-4 30 6,7E-4 30 0,00117 30 0,00102 30 5E-4 28 8,6E-4 28 0,00182 32 6,6E-4 32 0,00127 32 0,00131 32 6E-4 30 0,00131 30 0,0027 35 5,6E-4 35 0,00122 35 0,00144 35 7,1E-4 32 0,00169 32 0,00352 40 4E-4 40 0,00106 40 0,00128 40 7,9E-4 35 0,00217 35 0,00448 45 3,1E-4 45 9,37E-4 45 9,9E-4 45 8,1E-4 40 0,00283
  18. P-39 Qm Qm Qex1 Qex1 Qex1 Qex2 ε ε ε ε ε ε (×10-16 (×10-16 (×10-16 (×10-16 (×10-16 (×10-16 (eV) (eV) (eV) (eV) (eV) (eV) cm2) cm2) cm2) cm2) cm2) cm2) 600 0,0045 1000 8,9E-5 800 0,00185 800 0,00365 1000 0,00157 1000 0,00312 24.19 0 24,21 0 24,59 0 150 0,362 25 1,3E-4 25 1E-4 25 0,0052 200 0,34 28 4,8E-4 26 2,18E-4 25,5 0,0113 250 0,312 30 6,58E-4 28 4,5E-4 26 0,0175 300 0,284 32 7,14E-4 30 6,74E-4 27 0,029 400 0,242 35 6,86E-4 32 9,03E-4 28 0,0413 500 0,211 40 5,96E-4 35 0,0012 29 0,0531 600 0,187 45 5,27E-4 40 0,00159 30 0,0647 800 0,152 50 4,74E-4 45 0,00189 32 0,0875 1000 0,13 60 4,23E-4 50 0,00212 34 0,109 70 3,78E-4 60 0,00241 36 0,129 80 3,4E-4 70 0,00262 38 0,148
  19. P-41 Phụ lục 8. Số liệu về tiết diện va chạm của nguyên tử khí Ne Qm Qm Qex2 ε ε ε Qex1 ε Qex1 ε ε Qex2 (×10-16 (×10-16 (×10-16 (eV) (eV) (eV) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) (eV) (eV) (×10-16 cm2) cm2) cm2) cm2) 0 0,161 4 1,99 16,62 0 18,85 0,00358 16,67 0 60 0,0098 3E-4 0,192 5 2,07 16,65 4E-4 18,9 0,00356 16,8 8E-4 70 0,0091 1E-3 0,214 6 2,14 16,7 1E-3 18,92 0,00356 16,85 0,0011 80 0,0085 0,002 0,229 7 2,22 16,75 0,00166 18,97 0,00488 16,95 0,0028 100 0,0076 0,003 0,241 8 2,27 16,8 0,00207 19 0,00398 17 0,0026 120 0,007 0,004 0,253 10 2,42 16,85 0,00289 19,05 0,00397 17,2 0,0019 140 0,0065 0,005 0,263 12 2,54 16,9 0,00439 19,1 0,004 17,4 0,0018 160 0,00605 0,006 0,274 15 2,73 16,95 0,00358 19,15 0,0041 17,6 0,0018 200 0,0054 0,008 0,294 20 2,93 17 0,00268 20 0,0059 17,8 0,002 300 0,00445 0,01 0,314 25 2,95 17,1 0,00216 21 0,0077 18 0,0022 500 0,00346 0,012 0,33 30 2,91 17,2 0,00203 22 0,0088 18,2 0,0024 1000 0,00245 0,015 0,353 40 2,74 17,3 0,00205 23 0,0096 18,4 0,0026 0,02 0,386 50 2,49 17,4 0,00211 24 0,01 18,6 0,0029 0,025 0,415 60 2,22 17,5 0,00221 25 0,0103 18,7 0,004
  20. P-43 Qm Qm Qex2 ε ε ε Qex1 ε Qex1 ε ε Qex2 (×10-16 (×10-16 (×10-16 (eV) (eV) (eV) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) (eV) (eV) (×10-16 cm2) cm2) cm2) cm2) 0,7 1,48 18,61 0,00468 90 0,00144 33 0,012 0,8 1,535 18,64 0,00553 100 0,00118 34 0,012 1 1,62 18,65 0,00494 120 8,5E-4 35 0,0121 1,2 1,685 18,67 0,00764 150 5,6E-4 37 0,012 1,5 1,75 18,7 0,00569 200 3,4E-4 39 0,0119 2 1,83 18,75 0,00382 300 1,6E-4 40 0,0119 2,5 1,88 18,8 0,00356 350 1,2E-4 45 0,0113 3 1,92 390 1E-4 50 0,0108 16,72 0 18,85 8,2E-4 16,85 0 70 0,116 18,38 0 18,97 0 16,75 1,4E-4 18,9 8,2E-4 16,95 0,0119 80 0,116 18,4 0,0013 19,2 8E-4 16,8 3,1E-4 18,92 8,2E-4 17 0,011 90 0,113 18,5 0,0028 19,5 0,0017 16,85 6,5E-4 18,97 0,00112 17,2 0,008 100 0,109 18,7 0,0053 19,7 0,0022 16,9 0,00101 19 9,2E-4 17,4 0,0076 120 0,103 19 0,0085 20 0,003 16,95 8,2E-4 19,05 9,1E-4 17,6 0,0078 140 0,095 19,5 0,0135 20,2 0,0035 17 6,2E-4 19,1 9,2E-4 17,8 0,0085 160 0,088 20 0,0179 20,5 0,0042
  21. P-45 Qm Qm Qex2 ε ε ε Qex1 ε Qex1 ε ε Qex2 (×10-16 (×10-16 (×10-16 (eV) (eV) (eV) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) (eV) (eV) (×10-16 cm2) cm2) cm2) cm2) 18,49 7,7E-4 50 0,00122 28 0,0635 60 0,0221 45 0,0251 18,5 7,8E-4 60 7,7E-4 29 0,068 80 0,0187 50 0,0243 18,55 9,4E-4 70 4,8E-4 30 0,072 100 0,0162 60 0,022 18,58 0,00157 80 3,2E-4 32 0,0775 120 0,0146 70 0,0199 18,6 0,0012 90 2,2E-4 34 0,0825 150 0,0125 80 0,0181 18,61 0,00108 100 1,6E-4 35 0,085 200 0,0104 90 0,0168 18,64 0,00127 120 9E-5 40 0,096 300 0,008 100 0,0153 18,65 0,00114 150 5E-5 45 0,103 120 0,013 18,67 0,00176 200 2E-5 50 0,109 140 0,0113 18,7 0,00131 250 1E-5 55 0,112 160 0,01 18,75 8,8E-4 60 0,113 180 0,009 18,8 8,2E-4 65 0,115 200 0,0082 19,66 0 33 0,0304 21,56 0 30,5 0,108 100 0,667 19,8 1,5E-4 34 0,031 21,7 1E-3 31 0,115 110 0,7 20 4E-4 35 0,0318 22 0,0033 31,5 0,121 120 0,725
  22. P-47 Qm Qm Qex2 ε ε ε Qex1 ε Qex1 ε ε Qex2 (×10-16 (×10-16 (×10-16 (eV) (eV) (eV) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) (eV) (eV) (×10-16 cm2) cm2) cm2) cm2) 32 0,03 29,5 0,0959 90 0,628 900 0,414 30 0,102 95 0,649 1000 0,386